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数字质量流量控制器GFC-200
请注意:照片可能并不是实际产品,具体请参阅标题和产品规格及所有细节描述。
规格描述
| 物品 |
| 数字质量流量控制器 |
| 模型 |
| GFC-200 |
| 目标气体 |
| 多种气体* |
| N2（空气、H2、He、Ar、O2、CO2） |
| 配件 |
| 1/4F900（标准） |
| 1/4UJR |
| RC1/4 |
| （选一个） |
| 流量范围 |
| 多量程* |
| 10/30/50/100/300/500SCCM/1/35SLM |
| （选一个） |
| * |
| 使用专用软件，可以在指定满量程 (FS) 的 30% 和 100% 之间更改气体类型和满量程范围。 |
| 规格 |
| 传感器方式：热绕式传感器 |
| 控制范围：2~100%（满量程） |
| 响应性：1秒内完成全流量控制范围 |
| 准确性： |
| ±1.0%RD(>35%FS) |
| ±0.35%FS(≤35%FS) |
| 重复性：±0.25%FS |
| *大入口压力：500kPa |
| 耐压：980kPa |
| 工作温度：5~50℃ |
| 精度保证温度：15~35℃ |
| 允许储存温度：-10~60℃ |
| 允许工作湿度：10~90%RH（无凝露） |
| 气体接触部件材质：SUS316、SU316L、磁性不锈钢、Ni、PTFE、PCTFE、氟橡胶 |
| 流量设定信号：0~5VDC（输入阻抗1MΩ以上） |
| 流量输出信号：0~5VDC（*小负载电阻10kΩ以上） |
| 数字信号：使 |
产品介绍
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