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数字质量流量控制器DF-200C
请注意:照片可能并不是实际产品,具体请参阅标题和产品规格及所有细节描述。
规格描述
| 物品 |
| 数字质量流量控制器 |
| 模型 |
| DF-200C |
| 目标气体 |
| 多种气体* |
| N2(空气、H2、He、Ar、O2、CO2) |
| 配件（选择一项） |
| 1/4F900（标准） |
| 1/4UJR |
| RC1/4 |
| 流量范围（选其一） |
| 多量程* |
| 10/30/50/100/300/500SCCM/1/35SLM |
| * |
| 使用专用软件，可以在指定满量程 (FS) 的 30% 和 100% 之间更改气体类型和满量程范围。 |
| 传感器方式 |
| 热线绕传感器 |
| 控制范围 |
| 2~100%(满量程) |
| 反应能力 |
| 1秒内全流量控制范围 |
| 准确性 |
| ±1.0%RD(>35%FS) |
| ±0.35%FS(≤35%FS) |
| 再现性 |
| ±0.25%满量程 |
| *大入口压力 |
| 500kPakPa |
| 耐压性 |
| 980kPakPa |
| 工作温度 |
| 5~50℃℃ |
| 精度保证温度 |
| 15~35℃℃ |
| 允许储存温度 |
| -10~60℃℃ |
| 允许工作湿度 |
| 10~90%RH（无凝露） |
| 气体接触材料 |
| SUS316、SU316L、磁性不锈钢、Ni、PTFE、PCTFE、氟橡胶 |
| 流量设定信号 |
| 0~5VDC（输入阻抗1MΩ以上） |
| 流量输出信 |
产品介绍
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